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光刻机有多依赖先进陶瓷？
——球磨分级-山东埃尔派粉体科技

2020-09-30

　　最近，全球光刻机大佬ASML给美国的工程陶瓷企业CoorsTek颁了一个卓越供应商奖。颁奖是欧美大企业的常见行为，用以表达对上游供应商准时提供令人满意货物的认可，有的还包括资金或实物支持。

　　在光刻和晶圆检验中会用到诸多陶瓷元件，轴承、导轨、内衬、加热、承载、固定，几乎无所不能，无所不在。在CoorsTek而言，其产品有包括物理、化学、原子层沉积用衬板、过滤器等组件;等离子蚀刻设备元件，如用于改善晶圆蚀刻均匀性的聚焦环、气体喷嘴、腔体封盖等;快速热处理和外延加工元件;离子注入设备元件，如陶瓷空气轴承等;光刻和晶圆检测元件，如夹头、晶圆载体等;低压化学气相沉积及传热组件，如挡板、支架、喷头等;化学机械抛光(CMP)用抛光台和抛光板;各种半导体部件加工时的提升、加热、末端接触部件，等等……它们按用途需要具备抗静电、耐高温、耐腐蚀、不膨胀等特点。

　　据小编初步统计，仅CoorsTek披露的光刻机用先进陶瓷部件就近30种，其中尤以碳化硅(直接烧结、重结晶、气相沉积)为主，还包括氮化硅、氮化铝、刚玉、氧化钇、高纯石英等多种材质及形式的超纯及复合材料。而ASML的陶瓷部件供应商当然不止CoorsTek一家，部件也远不止几十种。随着我国光刻机攻坚征途不断前行，当然会给先进陶瓷产业带来众多机遇!

　　山东埃尔派粉体科技有限公司，是一家专业从事超细粉体研究和粉体设备的系统集成的高新技术企业，专业提供电池材料，环保脱硫，建材及固废(钢渣、粉煤灰等)，非金属矿，医药，食品，保健品，化妆品，精细化工，颜料，染料，粉末冶金，高新材料，矿产等全领域。ALPA的球磨分级生产线、钢渣微粉生产线的球磨机，分级机配合得当，能够优势互补、效率很高,产量大、运行稳定、产品质量稳定。